进口电动超高真空插板阀-结构应用及工作原理特点

1.1概述

该插板阀可用于高真空和超高真空切断或接通气流，用于泵与系统或真空室与真空室之间的隔断，是真空系统中重要元件之一。其广泛应用于电子、冶金、镀膜、科研及真空技术的各个领域。

1.2结构特点

该阀整体为不锈钢壳体，内部移动结构采用不锈钢经严格的抛光处理后组装而成，包括滚珠与轴承也采用不锈钢材料，前方法兰和圆法兰处的密封方式均用金属丝密封，阀板密封圈为氟移动结构用焊接不锈钢波纹管实现阀板的位移，对外界实现了无橡胶圈密封，有效减少了阀体的漏率与内部材料的放气量。

此阀通过上位机脉冲控制实现电机角位移，在非超载的情况下，电机的转速和停止位置只取决于脉冲信号的频率和脉冲个数，而不受负载变化的影响。当步进驱动器接收到脉冲信号，此信号会驱动步进电机按照设定方向转动一个固定的角度，方便客户按真空设备的具体情况设定角度开启和关闭，该阀工作平稳、密封可靠、开户和关闭震动小等特点。适用于自动化控制设备。

该阀结构紧凑，厚度与长度尽量缩小，使安装更方便空间要求更小。阀门适用介质为洁净的空气及非腐蚀性气体，可承受一定的压力。

2、技术指标

2.1性能指标

?阀体漏率：1.0*10-10Pa.L/s

?适宜使用范围：3.5*10-6Pa-1*Pa

?阀门控制：24V

?烘烤温度：关闭时＜℃,开启时＜℃

?阀门开启或关闭所需时间：≤50S

?阀板开启两侧压差：＜Pa

口径：DN50～DN

材质：SS、SS不锈钢等

连接方式：CF刀口法兰、ISO胶圈法兰等。

ISO法兰真空插板阀