真空闸

VAT真空阀,让半导体制造更高效安全

发布时间:2025/2/18 12:57:38   

在半导体制造过程中,需要防止腐蚀性、研磨性和有毒气体的回流污染。

华越国际优势供应VAT真空阀通过其设计,有效地阻止了这些污染物进入敏感区域,从而保护了生产过程的纯净性。

由于半导体制造过程需要在高真空环境中进行,VAT真空阀确保了这一条件得以维持。它们通过隔离、控制、传输等功能,保证了半导体设备内部环境的稳定。

比如VAT真空阀中的隔离阀用于隔绝或连接真空系统的各个部分,在连接真空泵时,可以控制气体是否进入泵系统,而控制阀则用于调节气体流量和压力,确保生产过程中的精确控制。

至于传输阀,则用于晶圆在不同腔体之间或腔体与LoadLock之间的转移,这对于保持生产环境的稳定和晶圆的安全传输至关重要。

作为全球领先的高性能真空阀和真空系统供应商,VAT真空阀通常采用高性能材料制造,如不锈钢、铝合金等,这些材料具有良好的耐腐蚀性和耐磨性,能够确保阀门的长期稳定工作。

根据VLSIResearch的数据,VAT公司在真空阀领域占据了全球市场的主要份额,其产品被广泛应用于高科技制造行业,包括半导体、显示器、LCD、OLED、太阳能电池等行业。这充分显示出其在半导体行业中的重要性和领导地位。

目前,VAT不仅提供单一的真空阀部件,还向市场提供完整的真空系统或组装的功能组,如负载锁和转移室等,以及工艺室中的晶圆处理系统、气体注入和通风系统等,这些都对半导体制造过程的顺利进行至关重要!

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