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?年?5?月25?日，由九隽永空（川北真空科技（北京）有限公司）担任的国度科技远大专项（02专项）“低粒子高真空阀门的财产化开辟”课题（编号：ZX-）告成经历国度?02专项验收行家组的现场测试评审。

在现场测试评审会议中，验收行家组用心听取了九隽永空对于项目职责实行境况的报告，并施行了现场测试以及本领档案、财政材料等一系列的查看，经历严酷的评审，结尾一致认定课题曾经实行或逾额实行了职责条约书中规章的一共目标，赞成项目正式经历行家现场验收。

课题组现场报告项目施行境况

02专项，即：《极大范围集成电路建立本领及成套工艺》项目，因序次排在国度远大专项所列16个远大专项第二位，熟行业内被称为“02专项”。九隽永空在02专项“低粒子高真空阀门的财产化开辟”课题中，胜利实行了低粒子高真空传输阀产物研发以及相对应的财产化能耐扶植，以及高机能、高靠得住度的低粒子高真空传输阀产物的范围化临盆，及产物工程运用考证等钻研职责。

课题组现场测试

九隽永空为国产半导体设施供应配套的高机能专用阀门，管理该型阀门一向以来全部依赖入口的局势，不单抬高国产半导体集成电路设施的机能及靠得住性，还低沉了设施制形成本。跟着项宗旨促进，其关系中央本领及工艺本领将直接驱策其余型号高机能阀门的研发，提高国内阀门的产物品种、原料和靠得住性，驱策国内真空阀门财产朝着高本领机能、高靠得住性及适用化、多用处的方位进展。

低粒子高真空矩形阀低粒子高真空圆形阀

九隽永空研发的低粒子高真空系列阀门采纳非凡策画，阀门内能形成颗粒物的疏通机构不会败露在真空管道内，极地面低沉了真空处境内颗粒物的形成，一共材料可做耐侵蚀责罚，赞成侵蚀性气体的处境下利用。阀门温度可控，并可在较高的温度下劳动，供应了足够的利用余步，以禁止工艺气体的凝集。

该阀门产物针对半导体行业的优化，可运用于刻薄的工艺，为高端真空建立设施国产化量身定制，管理了该型阀门一向以来全部依赖入口的局势，可通盘运用于刻蚀机、CVD、PVD、RTP等工艺设施。

秉持以科技革新驱策企业中央本领进展，九隽永空低粒子高真空传输阀产物研发项宗旨胜利，让华夏真空科技企业在中央本领上又一次攻破本领壁垒，加快国产取代，助力华夏极大范围集成电路建立装置及成套工艺革新进展，具备深刻意义。

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