SiNAR2.1_板P镀膜设备

1.设备技术参数

1.1MachineIdentification设备规格说明

1.2Dimensions(L长xW宽xH高)

1.3Weights重量

1.4Installationsite/ambientconditions安装地点环境条件

1.5设备工艺参数

2.设备概况

2.1设备总体介绍

2.2设备尺寸参数

2.3TopView

2.4设备接头

3.设备模块

3.1上料模块(LM-BMI)

LM作用：用于预处理的辐射加热器，大气和真空之间的传输；

BMI作用：用于工艺温度的平板加热器，速度调节。

3.2下料模块(BMO-UM)

BMO作用：速度调节，温度调节；

UM作用：真空和大气之间的传输。

3.3工艺模块（PM）

3.4传输模块(TM-BMI)

TM作用：分离工艺模块（不同的工艺气体），用于预处理的辐射加热器；

BMI作用：用于工艺温度的平板加热器，速度调节。

3.5清洁冷却模块(CCM)

CCM连接于UM，是一个可选模块,作用是提供额外的清理和冷却。

3.6石墨框缓冲区模块(TBM)可选

该模块能够在出现自动化错误的情况下缓冲多达10个石墨框。

3.7升降机模块

升降机仅将硅片从工艺水平运输到TRS水平。

4.设备传输

4.1内部运输系统

位于前腔和后腔的运输辊移动石墨框。石墨框的位置通过位置传感器确定。

4.2外部运输系统

外部运输系统被称为石墨框返回系统(TRS)。TRS是一套位于系统下方框架内的模块化系统。它由自身的马达驱动。变频器用于和缓地加速和减速石墨框。石墨框到TRS的入口被一个反射光栅传感器定位。

5.等离子体源

5.1线性等离子体源生产技术等离子

微波在磁控中生成，随后通过可调的波导和同轴电缆传入石英管或陶瓷管。该管从两侧接受微波供应。微波通过该管耦合到腔内。磁控管产生2.45Ghz的频率。所生成的微波会另外经过脉冲调制。脉冲时间可在4...50毫秒的范围内变化。等离子体源也具有磁场，允许产生较高的等离子体密度并稳定沿石英管形成等离子体。

5.2该源沿着石英管均匀地分配工艺气体,采用水冷却并通过护罩来防止沉积。

5.3微波分配组件组成

1.微波发生器；

2.能量传输；

3.铜天线（过渡元件）；

4.铜内部导体（微波到工艺腔的MW传输）；

5.短路活塞：用于调整微波控制系统并将反射功率降至最低。

磁控的高压发生器采用水冷且位于电气柜内。通过一根单独的CAN总线系统实现与系统控制的通信。石英管或陶瓷管以及内导体都配备了空气冷却。风扇吸入空气，并把空气吹入废气系统。

6.真空系统

6.1泵的位置

6.2真空泵型号

6.3真空传感器

6.4真空阀

1.蝶阀：用于低压管道介质的开关控制的蝶阀是指关闭件（阀瓣或蝶板）为圆盘，围绕阀轴旋转来达到开启与关闭的一种阀。

2.角阀：角阀就是角式截止阀，角阀与球形阀类似，其结构和特性是由球型阀修正而来。与球形阀的区别在于角阀的出口与进口成90度直角。

3.闸阀：用闸板作启闭件并沿阀座轴线垂直方向移动，以实现启闭动作的阀门。闸阀只能全开和全关，启闭件是闸板，运动方向与流体方向相垂直。

4.矩形闸阀：采用上装式结构，在高压、大口径条件下减少了阀体自身的连接螺栓，增强了阀门的可靠性且能克服系统自重对阀门正常工作的影响。

6.紧急停止装置

6.1按下紧急停止按钮后，多种功能将经由硬件和软件控制被激活

1.禁用系统主开关（例如加热器和真空泵被关掉）；

2.停止运输系统；

3.禁用盖板升降系统；

4.关掉磁控管；

5.禁用用于伸出和缩回磁控单元天线的驱动装置驱动；

6.禁用压缩空气供应并排气，因此所有气动阀门都被关闭（角阀、工艺气体阀等）；

7.关闭真空闸阀；

8.锁定气体分配装置的出口阀；

9.通过阀组单元锁定危险工艺气体的出口阀；

10.禁用用于关闭闸门的放行（如果闸门打开，就不能关闭）；

11.用于TMAl供应系统的放行被禁用(MAiA)。

6.2紧急停止后启用部件（位于电气柜内）

1.UPS（不间断电源）；

2.24V控制电压；

3.可选模块的控制电压终端；

4.控制计算机。

6.3紧急停止按钮SiNA（操作员侧）的位置

6.4紧急停止按钮SiNA（泵侧）的位置

6.5SiNA电源主开关

1.主开关用于启用或禁用设备的电力供应。如果激活紧急停止被激活，则主开关移动到中间位置，而且必须手动复位以重启设备。

2.复位主开关：1.完全关闭主开关：逆时针旋转，直到它在位置[0]下停止。2.顺时针转到位置[1]。

6.6SiNA危险区域标示

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