真空闸
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集微网消息,5月19日,由晶盛机电子公司晶鸿精密与日本primet合资成立的绍兴普莱美特真空部件有限公司研发的第一批国产半导体真空阀门产品——6款隔膜阀闪耀亮相。这标志着隔膜阀国产化取得阶段性成果,为国内半导体真空市场提供更优质的产品,打造半导体核心精密真空阀门部件国产化基地迈出重要一步。

图源:晶盛机电

晶盛机电官方消息显示,年3月,晶鸿精密与日本primet牵手,经过1年的研发制造,年4月,首批6款隔膜阀通过客户认证,实现量产。

(校对/若冰)



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