年，Rotarex临盆了第一款气体把持阀。

此刻，Rotarex凭仗近百年的技能阅历及严峻的原料把持，成为寰球钢瓶阀的领军品牌。

靠山

跟着我国大范围集成电路、化合物半导体、光伏太阳能、平面显示等行业的疾速进展，做为泛半导体行业的不行或缺的关键性原材料-半导体电子特气的身分也日趋凸显，电子特气做为电子产业的“血液”，贯通于全面半导体行业的临盆建造流程：荡涤、镀膜、刻蚀、搀杂及至器件封装，每一个枢纽都离不开电子特气，电子特气的须要也伴有着半导体商场的增加以及集成电路建造的日趋繁杂水平慢慢提高。

电子特气的供应方法遵循其性质及用量等不同要紧有气瓶供气、长管拖车供气等。

长管拖车在华夏的运用已有约20余年的史书，电子特气长管拖车，个别用于充装纯度＞99.%的气体，如SiH4,N2O,NF3,Hcl等，这些气体时常具备易燃、易爆、剧毒、侵蚀等特征，对无缝气瓶及管路、阀门等来往气体的容器或配置有较高的请求。

电子特气长管拖车，个别由8-12根无缝气瓶、框架、阀门、管路系统等构成，为了保证气体纯度及合用性，个别无缝气瓶会举行内壁研磨、置换、抽真空等管教，响应的管路系统常采用焊接型式的抛光管，阀门则采用密封性极好的隔阂阀及涟漪管阀。

ROTAREX可供应全系列的电子特气长管拖车用阀门。

隔阂式钢瓶阀

合用于超高纯及侵蚀性气体

★开关简单，职掌扭矩小

★微小的过流腔容积，易吹扫

★密封性高，走漏率可达10-8mbar.l/s

★带外漏探测孔，便利探测

★阀门特别管教，侵蚀及有毒气体合用

隔阂式管路阀

合用于超高纯及侵蚀性气体

★开关简单，职掌扭矩小

★微小的过流腔容积，易吹扫

★密封性高，走漏率可达10-8mbar.l/s

★带外漏探测孔，便利探测

★阀门特别管教，侵蚀及有毒气体合用

★多种阀座孔径可选，可用于压力表开关阀及做为主阀运用

涟漪管阀

合用于高纯、超高纯、氧化性，有毒、侵蚀或非侵蚀性气体

★气密性高

★金属涟漪管寿命长

★%氦检

★脱脂管教，独自塑封包装

★手动/气动职掌方法可选

★可做为管路主阀操纵

管路磋议,转磋议

合用于超高纯及侵蚀性气体

★转磋议-多种相连型式，尺寸可选

★管路磋议-缩径、三通、四通等多种型式及尺寸可选

★多种材质可选

★磋议内壁电抛光管教

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