今天，小编将介绍分子泵转速对氦质谱检漏仪敏感性的影响，希望对大家有所帮助。

分子泵是一种真空泵，利用高速转子将动量传递给气体分子，使其获得定向速率，从而被压缩并驱动到排气口，然后被从前面抽走。分子泵是获得高真空和超高真空的主要设备之一。广泛应用于电子工业、表面工程、核能工业、等离子体技术、薄膜工程等工业领域和研究部门。操作简单，启动时间短，分子流区各种气体的有效抽速几乎不变，对含量高的气体压缩比高，可获得清洁无油的高真空和超高真空环境。

分子泵是氦质谱检漏仪获取高真空的重要组成部分，是氦质谱检漏仪不可缺少的核心组成部分。分子泵的特性直接关系到检漏仪的性能参数。分子泵的发展直接关系到氦质谱检漏技术。

逆扩散检漏仪

逆扩散泄漏检测器的泄漏检测口连接到高真空泵和低真空泵之间，因此检测样品的可测泄漏压力是高真空泵的前抗压。如果样品压力超过此压力，则高真空泵将无法正常工作。涡轮分子泵的前抗压一般不超过50Pa,远远不能满足高压测漏的要求。

年国际上出现了一种叫做“复合性”分子泵，现在，其前面的抗压能力已达2万Pa。用作氦质谱检漏仪的高真空泵，可直接实现高样品压力下的检漏。

一种由复合分子泵组成的高压检漏仪，其工作过程如下。

被试样抽Pa,V1开启时，氦气反扩散通过整个分子泵进入质谱室，实现仪器的反扩散泄漏测量。如果样品能进一步抽到个Pa下列，则V2关掉，V3打开，从泵的中间口向质谱室扩散，如果样品能进一步抽到40Pa下列，则V3关掉，V4.打开时，氨从泵的上部反向扩散到质谱室，或直接进入质谱室（常规泄漏测量）。这种从高压泄漏检测到微泄漏检测的自动过程，不仅效率高，而且便于泄漏率的定量，因为闸阀流导、泵压缩比等参数固定，仪器只需一次校正。

改变氦质谱检漏仪的分子泵转速，检测信号值发生变化。仪器运行时，分子泵转速变化后，只要改变泄漏信号的校正系数，就可以保证检测泄漏率的准确性，无需再次校准。如果仪器检测信号时信号值太小，可以选择降低仪器的分子泵转速，提高检测信号值，提高仪器的检测灵敏度。

以上是分子泵转速对氦质谱检漏仪的灵敏度影响的相关内容，希望对大家有所帮助。

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