超高真空直线管道系统（LinearDistributionSampleTransferSystem）是一种运输媒介，它的基本原理是建立密闭管道，利用抽气设备降低管道内气压，创造出低介质密度的运输环境。该系统能够实现传输小车自动穿越法兰接口和闸板阀，方便样品长距离的马达化传输。

对于直线管道系统来说，大量的成本都用于真空环境的构建，一个直线系统如果能实现多轨道的话，就可以提高真空环境的利用率，类似于车道一样，从单车道变成了多车道，很显然传输效率是完全不同的。

因此我们在原有单轨道（发明专利号：ZL.7）的基础上做了升级优化，研发出双轨道超高真空直线管道系统。优化升级后的系统可实现上下轨道的样品载台各自独立工作，且互不干涉。通过搭配费勉的多功能样品抓取装置，还可以实现上下样品载台间的样品转移，充分利用超高真空环境完成样品原位运转，提高工作效率，满足各类实验需求。

▲双轨道超高真空直线管道系统

以下是我们目前正在申请中但未公开的专利：序号专利名称申请号1真空传样装置及真空系统.92用于真空载样车的驱动装置及真空系统.33真空轨道调节装置及真空系统.34真空递送装置及真空递送系统.95真空递送系统.81上下双轨道独立传输

图1-1

图1-2

如图1-1、1-2所示，通过双轨道的设计，样品载台可以独立工作或同时工作，并且互不干涉，大大地提高了实验效率。

2上下双向放置样品图1-3图1-4

如图1-3、1-4所示，小车正置或倒置，样品均可以保持稳定，且该系统拓展性强，可根据客户需求设计垂直/水平多个样品载台，内外小车搭配两组磁铁，传样更加稳定可靠。

3多种传样路径

升降式抓取装置与上下小车搭配，可实现样品在上下小车之间的转移，传样更加灵活，效率更高，且控制系统可根据客户需求设定传样路径，满足用户多种需求。

4可定制抓取装置

该系统还可根据客户需求定制不同的抓取装置，满足不同场景的使用需求，可对接多种设备，如STM/ARPES/MBE等，兼容工业和科研用户。

实际应用案例

北京大学物理学院

清华大学摩擦学实验室

5互锁设计，安全保护

该系统结合互锁保护设计，在真空发生突变的情况下，自动关闭分子泵和烘烤系统，同时真空规停止运行。

6软件接口可自由拓展

系统对接标准CF法兰，可开放软件接口，有利于后期客户自由拓展，满足多种需求。

单轨道（SLDC）双轨道（DLDC）腔体内径mmmm系统对接法兰NWCF（可定制）NWCF（可定制）观察口法兰CF63(可定制)CF(可定制)最小单元长度2米最长长度无限制泵组搭配分子泵组，复合离子泵组（Ion+NEG）极限真空＜1x10-10mbar线性重复精度＜0.2mm最高烘烤温度℃

我们将借助于目前国内的制造业优势和人才优势，通过标准真空产品和定制化系统两个渠道，服务国家重大科学项目和产业结构转型，为航空航天、材料研究、芯片制造等提供基础支撑，造福人类。

如果您有需要，费勉仪器将竭诚为您提供相关技术支持，请咨询info

fermi.

转载请注明:http://www.aideyishus.com/lkcf/657.html