电子特气的合成与纯化技术固然重要，配套的阀门、接头、管件及选材的重要性更加不能忽视，因为这将直接影响到气体安全及客户产品良率。第五期电子特种气体培训班、首届电子化学品精英课程定于01年1月8日-10日在太湖之畔、中国无锡同期开课。电子特气阀门、管件及流体系统龙头企业罗达莱克斯（Rotarex）和世伟洛克（Swagelok）将齐聚无锡参加本次课程。

罗达莱克斯（Rotarex）

随着我国大规模集成电路、化合物半导体、光伏太阳能、平面显示等行业的迅速发展，作为泛半导体行业的不可或缺的关键性原材料-半导体电子特气的地位也日益凸显，电子特气作为电子工业的“血液”，贯穿于整个半导体行业的生产制造过程：清洗、镀膜、刻蚀、掺杂以至器件封装，每一个环节都离不开电子特气，电子特气的需求也伴随着半导体市场的增长以及集成电路制造的日益复杂程度逐步提升。年，Rotarex生产了第一款气体控制阀。现在，罗达莱克斯（Rotarex）凭借近百年的技术经验及严格的质量控制，成为全球钢瓶阀的领军品牌。今天主要跟大家分享罗达莱克斯适配于电子特气长管拖车的特殊阀门。长管拖车在中国的应用已有约0余年的历史，电子特气长管拖车，一般用于充装纯度＞99.%的气体，如SiH4,NO,NF3,HCL等，这些气体通常具有易燃、易爆、剧毒、腐蚀等特性，对无缝气瓶及管路、阀门等接触气体的容器或设备有较高的要求。电子特气长管拖车，一般由8-1根无缝气瓶、框架、阀门、管路系统等组成，为了保证气体纯度及适用性，一般无缝气瓶会进行内壁研磨、置换、抽真空等处理，相应的管路系统常选用焊接型式的抛光管，阀门则选用密封性极好的隔膜阀及波纹管阀。

ROTAREX可提供全系列的电子特气长管拖车用阀门

隔膜式钢瓶阀适用于超高纯及腐蚀性气体★开关容易，操作扭矩小★极小的过流腔容积，易吹扫★密封性高，泄漏率可达10-8mbar.l/s★带外漏检测孔，方便检测★阀门特殊处理，腐蚀及有毒气体适用隔膜式管路阀适用于超高纯及腐蚀性气体★开关容易，操作扭矩小★极小的过流腔容积，易吹扫★密封性高，泄漏率可达10-8mbar.l/s★带外漏检测孔，方便检测★阀门特殊处理，腐蚀及有毒气体适用★多种阀座孔径可选，可用于压力表开关阀及作为主阀应用波纹管阀适用于高纯、超高纯、氧化性，有毒、腐蚀或非腐蚀性气体★气密性高★金属波纹管寿命长★%氦检★脱脂处理，单独塑封包装★手动/气动操作方式可选★可作为管路主阀使用管路接头、转接头适用于超高纯及腐蚀性气体★转接头-多种连接型式，尺寸可选★管路接头-缩径、三通、四通等多种型式及尺寸可选★多种材质可选★接头内壁电抛光处理来源：罗达莱克斯阀门

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