当前位置: 真空闸 >> 真空闸发展 >> KURTJLESKER矩形传输阀V70S
KURTJLESKER矩形传输阀V70SSeries
产品型号:V70SSeries
产品介绍
V70S系列矩形闸阀采用创新的双气缸设计,与标准V74系列相比,占地面积更小。该阀采用与V74相同的L-Motion机构,并具有可拆卸的顶盖,便于闸门密封维护。
性能特点
l可拆卸阀壳盖
l半标准应用(SemiE21-94、SemiE24-92、SemiE21.1-)
lL-motion连杆和执行器中无弹簧的双换档可实现更快、更平稳的驱动,同时降低振动
l阀盖法兰真空侧的防尘密封,几乎消除颗粒进入波纹管
l机械锁定,因此在闸门行程结束时阀门锁定到位
l焊接波纹管执行器密封
l阀盖法兰螺栓设计有保持器,以防止螺栓在拆卸时脱落
可选功能与配件
可定制尺寸
各种O型圈化合物(Kalrez、Chemraz等)
技术参数
产品尺寸
产品应用
等离子蚀刻、CVD、溅射沉积
太阳能电池板的制造
半导体加工
LCD/平板工艺
所有其他集群真空系统