真空闸

KURTJLESKER矩形传输阀V70S

发布时间:2023/11/12 17:58:26   
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KURTJLESKER矩形传输阀V70SSeries

产品型号:V70SSeries

产品介绍

V70S系列矩形闸阀采用创新的双气缸设计,与标准V74系列相比,占地面积更小。该阀采用与V74相同的L-Motion机构,并具有可拆卸的顶盖,便于闸门密封维护。

性能特点

l可拆卸阀壳盖

l半标准应用(SemiE21-94、SemiE24-92、SemiE21.1-)

lL-motion连杆和执行器中无弹簧的双换档可实现更快、更平稳的驱动,同时降低振动

l阀盖法兰真空侧的防尘密封,几乎消除颗粒进入波纹管

l机械锁定,因此在闸门行程结束时阀门锁定到位

l焊接波纹管执行器密封

l阀盖法兰螺栓设计有保持器,以防止螺栓在拆卸时脱落

可选功能与配件

可定制尺寸

各种O型圈化合物(Kalrez、Chemraz等)

技术参数

产品尺寸

产品应用

等离子蚀刻、CVD、溅射沉积

太阳能电池板的制造

半导体加工

LCD/平板工艺

所有其他集群真空系统



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