真空闸

富创精密申请真空矩形阀门专利,提升半导体

发布时间:2025/3/2 13:30:39   
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金融界年4月5日消息,据国家知识产权局公告,沈阳富创精密设备股份有限公司申请一项名为“一种适用于半导体行业的真空矩形阀门“,公开号CNA,申请日期为年11月。

专利摘要显示,本发明公开了一种适用于半导体行业的真空矩形阀门,涉及半导体阀门技术领域。该适用于半导体行业的真空矩形阀门,包括:阀盒,所述阀盒左端设置有阀板,所述阀板左端设置有传动轴,所述传动轴左端连接有腔体连接板,所述腔体连接板左表面设置有上限位座,所述腔体连接板左表面两端连接有外壳,所述传动轴左端设置有导向支撑座,所述导向支撑座左端设置有分力轴,所述分力轴与传动轴连接,所述外壳内侧连接有斜齿条,所述斜齿条下端啮合连接有斜齿轮,所述斜齿轮内部连接有从动轴,所述导向支撑座左右两端连接有传动轴安装板,所述传动轴安装板外侧连接有深沟球轴承,所述分力座左端设置有气缸连接板,所述气缸连接板左端连接有气缸。

本文源自:金融界

作者:情报员



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