氦质谱检漏仪采用磁偏转原理制成，对泄漏气体氦反应敏感，用于泄漏检测。那么氦质谱检漏仪的泄漏检测方法有多少种呢？详细介绍如下：

1.吸枪法

检测部件填充高于大气压的探测气氦，泄漏探测器的泄漏接口连接称为吸枪气体收集器。当样品泄漏时，泄漏的氦被吸枪吸入泄漏探测器进行检测。吸枪在样品表面移动，同时凝视泄漏探测器泄漏率指示的变化。一旦泄漏增加，吸枪的位置就会泄漏。因此，吸枪法也是一种可以确定泄漏的泄漏检测方法。

2.钟罩法-测量总漏率

将被检件与仪器漏口连接，抽真空。被检件的外侧覆盖着充满氦气的器皿。如果被检件有漏孔，氦气将从漏孔进入被检件。Z质谱管最终被检查。泄漏率是被检件的总泄漏率，不能确定几个泄漏点和每个泄漏的准确位置。可以看出，钟罩法是一种基于喷射法的泄漏测量方法。

3.背压法-测量总漏率

电子元件气密性检测常见的背压方法。泄漏测量前，用专用加压器将氦压入检测部件（压力和时间控制），然后取出检测部件，吹出表面吸附氦，放入专用泄漏罐，然后将泄漏罐连接到泄漏测量器的泄漏测量端口，真空泄漏测量罐，实施泄漏测量。如果设备泄漏，通过泄漏孔将氦压入泄漏罐，Z最终到达质谱管。用这种方法测量的漏率也是总漏率。

协助真空系统

如果对子泄漏速度和放气速度较大或体积较大的被检件直接与泄漏检测仪连接，泄漏检测仪的真空值可能无法提高，因此泄漏检测仪无法工作。在这种情况下，需要添加一个协助真空系统来提高被检测部件的速度。Z简单的辅助真空系统只需要一个机械泵和两个闸阀，复杂的系统可以由前泵、二次泵、闸阀、真空规则和标准漏孔组成。二次泵可使用扩散系统或罗茨泵前可使用气镇机械泵。

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