罗茨真空泵是一种常用的真空装置，可广泛应用。该产品主要由两个在泵体中具有相反旋转方向的转子组成，它们通过转子的旋转操作。其他产品之间存在一些差异，因此使用时还应注意以下几点：

1.经常检查油位。如果不符合要求，必须进行调整以满足要求。使用罗茨泵运行时，油位处于油标准的中心。

2,罗茨真空泵的换油周期根据实际使用情况考虑，是否能满足性能要求等，由用户自行决定。通常，当使用新的罗茨泵去除干净和干燥的气体时，建议每小时换一次油。在油中看不到黑色金属粉末后，将来可以延长换油周期。

3,经常检查油品质量，发现应及时更换机油更换新油，以确保罗茨泵工作正常。

4.正常情况下，设备运行小时后应检查，检查硅胶密封圈的老化程度，检查排气阀是否破裂，并清洗阀板和排气阀座上的污垢。清洁罗茨泵室的整个部件，如转子，旋转叶片，弹簧等。通常用汽油清洗干燥。清洁橡胶部件后，用干布擦干。清洁和组装时应小心。

5.罗茨泵为轴承体添加轴承润滑油。注意油位应位于油印的中心线，并应及时更换或补充润滑油。

6.检查罗茨泵管道和接头是否松动。用手转动罗茨泵，看看罗茨泵是否灵活。

7.重新组装后，应进行测试。通常，它必须运行2小时并更换油两次。因为在清洗过程中会留下一定量的挥发性物质，操作正常后会正常工作。

8.启动电机。正常运行时，打开出口压力表。在显示适当的压力后，逐渐打开闸阀并检查电机负载。

9.尽量控制流量并在标志上指示的范围内进行测量，以确保其能够在高效率点运行，从而获得良好的节能效果。

另请注意，罗茨真空泵的转子在泵体内相互啮合但有间隙。间隙的大小主要由液体的粘度决定。必须将间隙调整到超过一定的粘度范围。

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半导体工艺中干式真空泵的种类

油式真空泵是半导体行业中常用的真空泵种类，最主要的特点是真空度高，能满足新型行业的特殊工艺要求，其中又以旋片式真空泵和往复式真空泵为主要代表。随着时间的推移，社会的进步，它们在各种应用中的表现越来越不能使人们感到满意，比如旋片式真空泵不能抽水蒸气和可凝性气体及易腐蚀性气体等，因此，干式真空泵应运而生。

在过去的十多年里，有好几种不同类型的干式真空泵被设计和生产出来，它们在机械结构设计上有明显差异。因为这种差异，我们可以将干式真空泵归纳为以下几种类型：圆裂片式，爪式，组合式(罗茨+爪),螺杆式。当今，这些类型被不同生产厂家所广泛应用。其中，圆裂片式，爪式和组合式(罗茨+爪)被称为多级泵。

因为它们的工作方式大致相同，都是利用多级真空腔对气体进行反复的压缩来产生真空。在多次反复压缩的过程当中，气体的温度和压力也产生比较复杂的变化，因而比较容易引起气体物理特性的变化。而螺杆式被称为单级泵，因为它只靠一个真空腔来产生真空。根据其气体压缩方式的不同，又可将其分为内部压缩型螺杆泵和外部压缩型螺杆泵。

现在很多的干式真空泵应用到半导体行业中，用于取代油式真空泵.这样做不仅满足生产所需的真空度，也能满足行业中的特殊工艺要求.