VatVakuumventile是世界领先的高性能真空阀、多阀组件、真空模块和金属隔膜波纹管的开发商和生产商。VatVakuumventile的产品和服务主要用于半导体、显示器和太阳能电池板制造，以及在特殊真空条件下运行的各种工业和研究应用。

Vat真空阀适用于高真空、超高真空和极端超高真空的所有真空水平。Vat真空阀是在洁净室条件下制造的，并根据不同的应用进行定制。除了高纯度外，Vat真空阀还具有高精度的功能和耐用性，即使在极端的工艺条件下也能保持良好的性能。

一、主要产品

Vat拥有全面的真空控制阀、真空隔离阀、真空摆阀、真空滑阀和全金属真空阀，为各种应用提供最佳解决方案。

1.真空控制阀

Vat真空控制阀设计坚固，特别适用于气流中可能存在颗粒的恶劣下游工艺。即使在颗粒负荷和沉积物较高的情况下，控制阀也能保持完全正常工作。Vat真空控制阀具有出色的防颗粒特性，关闭板的接触运动和最佳阻尼开闭运动消除了传统阀门常见的冲击和振动。Vat真空控制阀采用各种锁定技术，即使在压缩空气或电源出现故障的情况下，仍能安全地保持真空。

2.真空隔离阀

真空隔离阀是一种用于将真空系统的一部分与系统的其余部分隔离的真空阀，防止气体或空气进入或离开隔离区域，从而保持该区域的真空度。Vat真空隔离阀通常由铝或不锈钢制成，并带有弹性体密封，也有完全由金属制成的，可承受高温、辐射或侵蚀性介质等恶劣的操作条件。Vat真空隔离阀即使在极快的开启和关闭速度下，也几乎不会产生振动或摩擦。

3.真空摆阀

真空摆阀是特殊类别的绝缘控制阀，其中真空板通过旋转运动移出开口横截面。由于具有非常精细的传导控制功能，因此是工艺室下游压力控制的标准解决方案。Vat真空摆阀设计紧凑，震动小，开启和关闭轻柔，避免过程中产生颗粒。

4.真空滑阀

真空滑阀是真空系统中用于控制气体进出真空室的机械装置。Vat真空滑阀截面完全开放，安装深度低，是真空绝热的理想选择。滑块采用Vat的专利VATLOCK技术，这确保了可靠的板密封，没有任何摩擦。真空滑阀具有坚固的结构，密封机构可确保关闭时的高度真空完整性，防止泄漏并保持腔体内的真空水平。

5.全金属真空阀

全金属真空阀适用于对惰性物理特性有极高要求的超高真空应用，阀门的工艺接触区域没有弹性体。Vat全金属真空阀具有可重复的“硬对硬”金属密封、极高的烘烤温度、抗辐射等特点。

二、应用领域

Vat真空阀应用广泛，包括半导体生产、科学仪器、薄膜涂覆、医疗、物理研究等领域。

1.半导体生产

半导体生产的快速创新周期需要对现有和新的生产设施的生产流程进行持续优化。真空阀在纯度、低粒度、可控性、速度和可用性方面设定了标准，是优化生产的支柱。用于半导体制造中的控制和隔离的Vat真空阀总是根据特殊要求量身定制。Vat真空阀的关键功能包括：自适应开启和关闭循环、稳定的自适应密封、先进的控制器技术，可实现高精度控制、颗粒激活和防释放，以及高制造质量。

2.科学仪器

许多科学仪器的共同点是使用高真空和超高真空作为测量环境。除了对真空的精确控制外，高纯度真空也至关重要。用于科学仪器的Vat真空阀产品具有以下特点：在苛刻的工艺环境中具有很高的耐用性和长寿命；设计紧凑、节省空间，几乎不需要维护；在高纯度和超高纯度真空环境中使用时具有高度的颗粒自由度。

3.薄膜涂覆

薄膜涂覆工艺的共同点是，它们在受控的大气条件下进行，真空度和气体分布的精确控制对涂层过程的效率至关重要。适用于薄膜涂层工艺的Vat真空阀组合，即使在不断变化的工艺条件下也能实现精确、稳定的操作，即使电导率值很小，也能精确控制气体流量，最大限度地减少残余气体和颗粒排放。

4.医疗领域

真空以及真空阀解决方案对于各种医疗领域和设备至关重要。例如质子治疗、正电子发射断层扫描需要采用结构紧凑的阀门解决方案，可采用Vat气动或电动驱动的紧凑型控制阀和隔离阀；真空灭菌需要使用真空阀精确控制气体流量，可采用Vat模块化控制阀和隔离阀；药品冷冻干燥需要多种阀门解决方案，Vat真空阀产品组合包括大量阀门系列，这些阀门系列具有极高的可靠性和良好的可用性，维护要求非常低。

5.物理研究

在高能物理研究中，许多实验和测量需要在真空条件下进行。这就对真空阀等相关真空元件提出了极高的要求。Vat全金属真空阀是解决方案的重要组成部分，几乎适用于高能物理研究的所有领域。其特点是抗辐射、耐高温、最大程度地免受污染以及物理惰性。