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产品名称:VAT摆式隔离阀Series
产品型号:52-JA24
产品介绍
大型HV摆式隔离阀即使在恶劣的工艺条件下也能提供可靠的隔离性能。它非常适合大流量应用中的隔离要求,例如大型涂层或显示器生产系统。因此,它提供DN和mm两种规格。阀门提供可选的3位气动或标准气动,均为双作用。
凭借其特殊的分体式设计,无需拆卸管道连接或工艺室连接即可进行维护。其纤薄的设计允许将直接安装到制程腔体,从而消除了例如腔室-阀门-泵连接中通常需要的体积。
凭借其坚固的设计以及多种设计选项,系列易于集成到各种真空工艺中。
系列已在全球数百个批量和在线生产系统中安装在各种工艺条件下,已在各个方面证明了其性能。
性能特点
l大真空量的可靠隔离l在恶劣条件下也能提供可靠的性能l采用狭缝式机身设计,维护快捷方便l正常运行时间长l运营成本低l可根据工艺要求进行调整技术参数