特种气体系统的阀门箱和阀门盘的设置

自燃、可燃、毒性、腐蚀性气体系统的阀门箱应设有：

1）进气管路隔离阀门及压力指示单元；

2）各分支路独立的压力控制调节、过滤器、过流开关单元；

3）各分支路独立的进出口隔离阀门；

4）各分支路独立的吹扫氮气或惰性气体单元；

5）各分支路独立的辅助抽真空单元等

2惰性及氧化性气体系统的阀门盘应设有：

1）进气管路隔离阀及压力指示单元；

2）各分支路独立的压力控制调节阀、过滤器；

3）各分支路独立进出口隔离阀门。

吹扫和排气系统

特种气体系统吹扫氮气的设置

1自燃、可燃、毒性、腐蚀性特种气体系统的吹扫氮气应与独立的氮气源连接，不得与公用氮气或工艺氮气系统相连；

2不相容性特种气体系统的吹扫氮气不得共用同一氮气源；

3吹扫氮气管线必须设置止回阀。

吹扫氮气的气体面板设置

1）压力调节阀；

2）排气管；

3）高低压截止阀；

4）高低压压力指示；

5）安全阀

特种气体系统的辅助抽真空设置应符合下列要求

1真空发生器宜采用氮气实现抽真空功能；

2抽真空用氮气可由公用普通氮气提供；

工艺排气与废气处理

1特种气体系统的排气管应设置氮气稀释与连续吹扫，防止空气倒流造成污染和腐蚀。

2不相容性气体的排气不得连接进入同一排气主管。

3自燃、可燃、毒性、腐蚀性气体的排气浓度超过燃烧下限20%或最大允许浓度10%时，必须经过尾气处理装置处理后排入厂房排气系统。

4合适的废气处理装置包括但不限于：1）干式处理；2）水洗式处理；3）加热分解处理；4）燃烧处理；5）等离子分解处理；6）稀释处理；以及以上几种处理方式的结合。